300mmIC生產線主動物料轉移體系研制與運用
2015-03-26 11:48:20??????點擊：
日前，沈陽新松機器人主動化股份有限公司承當的“300mmIC生產線主動物料轉移體系研制與運用”項目在沈陽通過了國家科技嚴重專項“極大規模集成電路制作配備與成套工藝”（02專項）施行辦理單位組織的檢驗。
沈陽新松機器人主動化股份有限公司成功研制“300mmIC生產線主動物料轉移體系”，打破了國外集成電路配備公司在國內的獨占位置。
該項目由新松公司聯合中科院沈陽主動化所、上海集成電路研制基地有限公司等實力雄厚的研究院所、公司進行技能攻關，要點霸占在潔凈體系設計及優化技能、無接觸供電技能、氣流剖析技能、體系可靠性技能、物流調度剖析等共性關鍵技能，完成了物料操控體系軟件、潔凈天車、天井式轉移車、潔凈立庫、潔凈有軌制導車輛及外接晶片裝載設備等基地設備的開發，并在上海集成電路研制基地有限公司完成了主動物料轉移體系的演示運用，完成了潔凈物料傳輸體系配備的國產化，項目合同期內完成了主動物料轉移生產線5條，完成銷售收入1.44億元。
該體系的研制成功不只打破了國外集成電路配備公司在國內的獨占位置，降低了晶圓制作公司生產成本，同時推動了中國集成電路配備產業的開展，并股動全部配備制作的產業鏈的開展，加快中國配備制作業的轉型晉級。
據悉，該項目資金總額為12,726萬元，依照中心：當地：公司＝1:1:1的需求，中心投入4,242萬元，當地配套資金4,242萬元，新松公司運用自籌資金4,242萬元。
下一步，新松公司將在三期產業園，新建超越6000平方米的潔凈車間，用于主動化物料轉移體系及其基地設備商品研制、測驗和驗證，進一步進步潔凈商品的產業化才能。
沈陽新松機器人主動化股份有限公司成功研制“300mmIC生產線主動物料轉移體系”，打破了國外集成電路配備公司在國內的獨占位置。
該項目由新松公司聯合中科院沈陽主動化所、上海集成電路研制基地有限公司等實力雄厚的研究院所、公司進行技能攻關，要點霸占在潔凈體系設計及優化技能、無接觸供電技能、氣流剖析技能、體系可靠性技能、物流調度剖析等共性關鍵技能，完成了物料操控體系軟件、潔凈天車、天井式轉移車、潔凈立庫、潔凈有軌制導車輛及外接晶片裝載設備等基地設備的開發，并在上海集成電路研制基地有限公司完成了主動物料轉移體系的演示運用，完成了潔凈物料傳輸體系配備的國產化，項目合同期內完成了主動物料轉移生產線5條，完成銷售收入1.44億元。
該體系的研制成功不只打破了國外集成電路配備公司在國內的獨占位置，降低了晶圓制作公司生產成本，同時推動了中國集成電路配備產業的開展，并股動全部配備制作的產業鏈的開展，加快中國配備制作業的轉型晉級。
據悉，該項目資金總額為12,726萬元，依照中心：當地：公司＝1:1:1的需求，中心投入4,242萬元，當地配套資金4,242萬元，新松公司運用自籌資金4,242萬元。
下一步，新松公司將在三期產業園，新建超越6000平方米的潔凈車間，用于主動化物料轉移體系及其基地設備商品研制、測驗和驗證，進一步進步潔凈商品的產業化才能。
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